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4 実験方法 本実験では,以下に示すフォトリソグラフィの一連の操作を2回行った.1回目で基板ウェハ上の2箇所に丸囲み十字のマーカーを印字し,2回目でその印を基準としてさらにあるパターンを印字した.これら2回の操作は,2回目の露光の際に1回目に印字したマーカーとフォトマスク上の...