資料紹介
１ 実験の目的
気体の流れの物理を学び、系の到達圧力を決定している要因を理解する。
２ 実験装置
（図Ⅰ）のような実験装置を準備する。本装置は、真空容器１、２と間を接続するバルブ
付きの三本の導管からなる。真空は真空容器２に接続してあるロータリーポンプ（
RP
）を
用いて引き、圧力は各容器上部のピラニゲージ（
PG
）で測定する。真空容器には、リークバ
ルブ（
LV
）が取り付けてあり、容器２とロータリーポンプ間は、主排気バルブ（
MV
）で接
続してある。
３ 実験原理
コンダクタンスとは、（図Ⅱ）のような系において、
で定義される、気体の流入出のしやすさをあらわす量である。
P1,P2
は容器内の圧力であ
り、
Q
は配管を流れる気体流量である。本実験では、較正と補正を測定しながら、系のコンダ
クタンスの量を得る事が本筋である。
４ 実験手順
手順１ 真空状態とポンプの動作確認
系のバルブの開閉を適、
RP
ス入れ、
MV
と
RP
間配管を真空に引次
に、
MV
、すの導管バルブ（
CV
）の順に開け、
PG
のス入れる。
PG
の真空下
がりかわらなる引
手順２ ピニ
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１
実験の目的
気体の流れの物理を学び、系の到達圧力を決定している要因を理解する。
２
実験装置
（図Ⅰ）のような実験装置を準備する。本装置は、真空容器１、２と間を接続するバルブ
付きの三本の導管からなる。真空は真空容器２に接続してあるロータリーポンプ（RP）を
用いて引き、圧力は各容器上部のピラニゲージ（PG）で測定する。真空容器には、リークバ
ルブ（LV）が取り付けてあり、容器２とロータリーポンプ間は、主排気バルブ（MV）で接
続してある。
３
実験原理
コンダクタンスとは、（図Ⅱ）のような系において、
で定義される、気体の流入出のしやすさをあらわす量である。P1,P2 は容器内の圧力であ
り、Q は配管を流れる気体流量である。本実験では、較正と補正を測定しながら、系のコンダ
クタンスの量を得る事が本筋である。
４
実験手順
手順１
真空状態とポンプの動作確認
系のバルブの開閉を適切に行い、RP スイッチを入れ、MV と RP 間配管を真空に引く。次
に、MV、すべての導管バルブ（CV）の順に開け、PG のスイッチを入れる。PG の真空度の下
がり値がほ...
